潔凈室的定義與測試規(guī)范概述

        凈潔凈室的定義，早是在美國聯(lián)邦標準209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導體業(yè)與制藥業(yè)接受。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認到若是無共同標準，就不能實現(xiàn)經(jīng)濟的化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說明潔凈室的各種標準與規(guī)范。

　　Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯(lián)邦標準209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、中國臺灣、與中國大陸，都還沿用209E。

　　ISO-14644系列;美國政府為了推動經(jīng)濟化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的標準ISO-14644。14644系列有8個子題，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-9。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法、設(shè)計與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。

　　JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標準，規(guī)定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式，及潔凈度的等級定義。

　　VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標準，規(guī)定潔凈度等級的定義方式，以及潔凈度的量測技術(shù)。

　　Gost-R 50766 (1995)：的潔凈標準，定義潔凈室的分類與一般需求。

　　以上是潔凈室等級規(guī)定，與潔凈度量測的相關(guān)標準。另外有關(guān)潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制)，和環(huán)境控制(如溫濕度、震動噪音等)，也有一些重要的測試規(guī)范，因為這些環(huán)境影響因素，都包含在潔凈室性能測試的范圍之內(nèi)。

　　IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測試規(guī)范，目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測，006 包括了風速風量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T，006.2是第二版?，F(xiàn)在由于 NEBB 的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。

　　NEBB 潔凈室測試規(guī)范第二版：這是目前廣為流行的測試規(guī)范，提到潔凈室認證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測試規(guī)范，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋范圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規(guī)定。因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測試的爭議，也因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標準。

　　每一種行業(yè)，甚至每公司或工廠，對潔凈室的要求可能都不一樣。